洁净室检漏的测试方法和应用原理

　　洁净室检漏通常采用PAO发生器在滤器上游发尘，使用光度计检测滤器上下游气溶胶浓度来判定滤器是否有泄漏。发尘的目的是因高效过滤器上游尘粒浓度较低，仅用粒子计数器在不发尘的情况下检测，较难发现有泄漏，需补充发尘才能明显、容易地发现泄漏。当气流被真空泵抽至光散射室时，其中的颗粒物质散射光线至光电倍增管。在光电倍增管中，光被转换成电信号，此信号经放大和数字化后由微处理器分析，从而测定散射光的强度。通过与参比物质产生的信号的对比，可以直接测量气体中颗粒物质的质量浓度，因此其用途十分广泛。

　　洁净室检漏的测试方法有：

　　1.DOP法，以光度计检测，不如粒子计数法灵敏；

　　2.粒子计数法，以粒子计数器作为检测仪器，使用单分散或多分散气溶胶，灵敏度高，多用于超高效过滤器；

　　3.最易穿透粒径法（MPPS），采用粒子计数器作为检测仪器，使用的气溶胶同时，与粒子计数法的区别是，以过滤器最易穿透的粒径作为测试用粒径；

　　4.钠焰法，此法采用火焰光度计，对NaCL燃烧的火焰色度作响应，灵敏度低，且NaCl对微电子产品质量有害国外已不用。

　　洁净室检漏安装后的检漏方法有光度计法和粒子计数器法。光度计法一般用于带小型空气处理系统的洁净室或安装有气溶胶注入点的管路系统，可达到规定的高浓度测试气溶胶；由于粒子计数器法的灵敏性好和污染少，一般都采用粒子计数器法进行高效空气过滤器安装后的检漏。