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产品简介ZR-4000型气流流形测试仪利用专利技术的超声波雾化器产生10微米左右的高可见度及无污染的水雾,用于洁净厂房、局部洁净环境的气流流形摄像及录影。根据ISO14644-3及GMP对洁净厂房验收需要对气流方向进行评价,可适用于半导体,